热反射方法（Thermo-Reflectance）基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（Thermal Diffusivity）、热导率（Thermal Conductivity）、吸热 系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。测量时需要在薄膜表面镀一层金属钼或者金属铝，样品宽度在1-2cm之间，材料范围为0.01~1000mm²/s，测试温度范围从-100℃到500℃，该设备有两种模式，分别为RF模式和FF模式。可在真空模式下测量。