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紫外光刻机

仪器分类:

制造设备

仪器状态:

所属单位:

中国科学技术大学 > 工程与材料科学实验中心 > 微系统实验室

仪器生产商:

美国ABM公司

购置日期:

2021-08-18

使用模式:

按时预约,委托预约

规格型号:

ABM/8/500/DUV/DCCD/BSV/SA

放置房间号:

力学三楼

仪器管理员:

朱五林,

email:zhuwl@ustc.edu.cn

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主要参数

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