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轮廓仪

仪器分类:

测量设备

仪器状态:

所属单位:

中国科学技术大学 > 工程与材料科学实验中心 > 微系统实验室

仪器生产商:

德国Bruker公司

购置日期:

2016-12-07

使用模式:

按时预约,委托预约

规格型号:

GT-K

放置房间号:

力学三楼

仪器管理员:

朱五林,

email:zhuwl@ustc.edu.cn

微系统,

email:zwl111+A@163.com

  • 仪器介绍

主要参数

仪器介绍

光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器,对样品基本上没有损害。视样品选择不同测量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度;垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径,粗糙度的计测等。