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超快激光三维微纳制造系统

仪器分类:

制造设备

仪器状态:

所属单位:

中国科学技术大学 > 工程与材料科学实验中心 > 微系统实验室

仪器生产商:

Nanoscribe Inc.

购置日期:

2024-07-02

使用模式:

按时预约,委托预约

规格型号:

Quantum X shape

放置房间号:

力学三楼

仪器管理员:

朱五林,

email:zhuwl@ustc.edu.cn

微系统,

email:zwl111+A@163.com

  • 仪器介绍

主要参数

仪器介绍

 基于双光子聚合效应,飞秒激光实现对跨尺度、高精度器件的加工需求,具备纳米精度、厘米级三维微纳功能结构的制备,填补微纳加工与表征平台在跨尺度三维微纳器件制备方面的能力不足。