仪器设备

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所属单位：

全部业务室热物性实验室材料显微分析实验室微系统实验室材料力学性能实验室

预约模式：

全部按时预约委托预约

ICP-RIE刻蚀系统（RIE-800iPB）

所属单位：微系统实验室

使用模式：按时预约,委托预约

仪器管理员：朱五林，微系统

仪器分类：制造设备

放置房间号：力学三楼

仪器状态：

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