微纳米薄膜导热系数测量系统

仪器分类：

测量设备

仪器状态：

所属单位：

中国科学技术大学 > 工程与材料科学实验中心 > 热物性实验室

仪器生产商：

耐驰

购置日期：

2018-01-01

使用模式：

委托预约

规格型号：

PicoTR、NanoTR

放置房间号：

力四楼206室

仪器管理员：

施安峰，	email：shianf@ustc.edu.cn
金熠，	email：yjin@ustc.edu.cn
胡昌盛，	email：huchangsheng@ustc.edu.cn

预约

仪器介绍

主要参数	需要提供基底材料的密度、比热、导热系数需要提供薄膜材料的密度、比热、厚度基底边长在1-2cm之间
仪器介绍	热反射方法（Thermo-Reflectance）基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（Thermal Diffusivity）、热导率（Thermal Conductivity）、吸热系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。测量时需要在薄膜表面镀一层金属钼或者金属铝，样品宽度在1-2cm之间，材料范围为0.01~1000mm²/s，测试温度范围从-100℃到500℃，该设备有两种模式，分别为RF模式和FF模式。可在真空模式下测量。

主要参数

需要提供基底材料的密度、比热、导热系数需要提供薄膜材料的密度、比热、厚度基底边长在1-2cm之间

仪器介绍

热反射方法（Thermo-Reflectance）基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（Thermal Diffusivity）、热导率（Thermal Conductivity）、吸热系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。测量时需要在薄膜表面镀一层金属钼或者金属铝，样品宽度在1-2cm之间，材料范围为0.01~1000mm²/s，测试温度范围从-100℃到500℃，该设备有两种模式，分别为RF模式和FF模式。可在真空模式下测量。