场发射扫描电子显微镜

仪器分类：

成像分析设备

仪器状态：

所属单位：

中国科学技术大学 > 工程与材料科学实验中心 > 材料显微分析实验室

仪器生产商：

蔡司

购置日期：

2018-01-01

使用模式：

委托预约

规格型号：

GeminiSEM 500

放置房间号：

力四楼111室

仪器管理员：

柏彧，	email：baiyu@ustc.edu.cn
王惠娟，	email：wanghuij@ustc.edu.cn
田杰，	email：tianjie@ustc.edu.cn

预约

仪器介绍

主要参数	1．分辨率： ≤0.6 nm@15KV （二次电子），≤1.1nm@1kV 2. 放大倍率：20-2,000,000 3. 电子枪：肖特基热场发射电子枪； 4. 加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调； 5. 探针电流： 3pA-20nA； 6. 可容纳最大样品尺寸≥200mm，最大样品高度≥60mm； 7. 五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围-3°-70°，旋转≥360°（连续旋转）； 8. 探头：镜筒内二次电子探测器 1．分辨率： ≤0.6 nm@15KV （二次电子），≤1.1nm@1kV 2. 放大倍率：20-2,000,000 3. 电子枪：肖特基热场发射电子枪； 4. 加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调； 5. 探针电流： 3pA-20nA； 6. 可容纳最大样品尺寸≥200mm，最大样品高度≥60mm； 7. 五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围-3°-70°，旋转≥360°（连续旋转）； 8. 探头包括背散射电子探测器（EsB）、二次电子探测器（SE）、超高分辨二次电子探测器（In-Lens SE）；镜筒内背散射电子探测器（EsB）、样品室内二次电子探测器（SE）、伸缩式背散射电子探测器（BSD）；
仪器介绍	场发射扫描电子显微镜GeminiSEM 500具有分辦率高（0.5 nm@15kV），样品检测范围广等优点，可获取样品二次电子像、极表面的形貌像以及背散射电子像，广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、生物学、医学、考古和文物鉴定分析。主要用途： 1、各种样品（金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等）的微观形貌观察、微结构测定和微区成分分析。 3、利用电子背散射衍射仪对材料晶粒尺寸和分布、晶界、应变场、晶粒取向和织构等进行表征以及鉴别未知物相。

主要参数

1．分辨率： ≤0.6 nm@15KV （二次电子），≤1.1nm@1kV 2. 放大倍率：20-2,000,000 3. 电子枪：肖特基热场发射电子枪； 4. 加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调； 5. 探针电流： 3pA-20nA； 6. 可容纳最大样品尺寸≥200mm，最大样品高度≥60mm； 7. 五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围-3°-70°，旋转≥360°（连续旋转）； 8. 探头：镜筒内二次电子探测器 1．分辨率： ≤0.6 nm@15KV （二次电子），≤1.1nm@1kV 2. 放大倍率：20-2,000,000 3. 电子枪：肖特基热场发射电子枪； 4. 加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调； 5. 探针电流： 3pA-20nA； 6. 可容纳最大样品尺寸≥200mm，最大样品高度≥60mm； 7. 五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围-3°-70°，旋转≥360°（连续旋转）； 8. 探头包括背散射电子探测器（EsB）、二次电子探测器（SE）、超高分辨二次电子探测器（In-Lens SE）；镜筒内背散射电子探测器（EsB）、样品室内二次电子探测器（SE）、伸缩式背散射电子探测器（BSD）；

仪器介绍

场发射扫描电子显微镜GeminiSEM 500具有分辦率高（0.5 nm@15kV），样品检测范围广等优点，可获取样品二次电子像、极表面的形貌像以及背散射电子像，广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、生物学、医学、考古和文物鉴定分析。

主要用途：

1、各种样品（金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等）的微观形貌观察、微结构测定和微区成分分析。

3、利用电子背散射衍射仪对材料晶粒尺寸和分布、晶界、应变场、晶粒取向和织构等进行表征以及鉴别未知物相。