透射电镜/扫描电镜离子束制样系统

仪器分类：

制造设备

仪器状态：

所属单位：

中国科学技术大学 > 工程与材料科学实验中心 > 材料显微分析实验室

仪器生产商：

国仪量子

购置日期：

2018-01-01

使用模式：

委托预约

规格型号：

DB500

放置房间号：

力四楼106室

仪器管理员：

柏彧，	email：baiyu@ustc.edu.cn
王惠娟，	email：wanghuij@ustc.edu.cn
田杰，	email：tianjie@ustc.edu.cn

预约

仪器介绍

主要参数	离子束系统离子源:液态镓离子源;分辨率:3 nm @ 30 kV探针电流:1 pA~50 nA;加速电压:1~30 kV 电子束系统电子枪:肖特基场发射电子枪;分辨率:≤1.7nm@1kV; 加速电压:20V~30kV束流大小:1pA~20 nA; 放大倍数:1x~2,500,000x(1~16x为光学放大) 样品台行程:X2110mm，Y>110mm，Z265mm，T:-10~+70°，R:0~360°.· 样品仓容积:宽>380mm，高>290mm，深>330mm ·
仪器介绍	聚焦离子束扫描电镜双束系统由于其先进的微观加工与分析技术，广泛应用于材料科学、纳米技术、半导体研究等领域。主要用途： 1.高质量的定点TEM/SEM样品制备 2.通过截面切割，对截面进行观测和分析 3.通过连续交叉切片在纳米分辨率下采集高质量的3D数据集，实现对样品的三维成像和三维分析

主要参数

离子束系统离子源:液态镓离子源;分辨率:3 nm @ 30 kV探针电流:1 pA~50 nA;加速电压:1~30 kV 电子束系统电子枪:肖特基场发射电子枪;分辨率:≤1.7nm@1kV; 加速电压:20V~30kV束流大小:1pA~20 nA; 放大倍数:1x~2,500,000x(1~16x为光学放大) 样品台行程:X2110mm，Y>110mm，Z265mm，T:-10~+70°，R:0~360°.· 样品仓容积:宽>380mm，高>290mm，深>330mm ·

仪器介绍

聚焦离子束扫描电镜双束系统由于其先进的微观加工与分析技术，广泛应用于材料科学、纳米技术、半导体研究等领域。

主要用途：

1.高质量的定点TEM/SEM样品制备

2.通过截面切割，对截面进行观测和分析

3.通过连续交叉切片在纳米分辨率下采集高质量的3D数据集，实现对样品的三维成像和三维分析