当前位置:

首页 仪器设备 仪器详情

非金属薄膜沉积系统

仪器分类:

制造设备

仪器状态:

所属单位:

中国科学技术大学 > 工程与材料科学实验中心 > 微系统实验室

仪器生产商:

SAMCO公司

购置日期:

2024-12-12

使用模式:

按时预约,委托预约

规格型号:

PD-220N

放置房间号:

力学三楼

仪器管理员:

朱五林,

email:zhuwl@ustc.edu.cn

微系统,

email:zwl111+A@163.com

  • 仪器介绍

主要参数

仪器介绍

用于沉积SiOx,SiNx,多晶硅薄膜,所制薄膜可用于各种微器件电极钝化层或传感器与执行器的结构层。